杭州中欣晶圓半導體股份有限公司

 

　　杭州中欣晶圓半導體股份有限公司成立于2017年，坐落在杭州市錢塘區(qū)大江東產業(yè)集聚區(qū)，主要從事高品質集成電路用半導體晶圓片的研發(fā)與生產制造。實現(xiàn)了從半導體單晶硅棒拉制到100mm~300mm半導體晶圓片加工的完整生產。擁有9條8英寸生產線、2條技術成熟的12英寸生產線，具備年產能240萬片/300mm、480萬片/200mm、480萬片/150mm。

 

　　

 

　　半導體生產車間對空氣潔凈技術提出了高要求，以確保產品生產良率達到99.99%。

 

　　解決方案

　　Solutions

 

　　華凈科技氣態(tài)污染物AMC空氣過濾解決方案

 

　　面對中欣晶圓對空氣潔凈度的要求，華凈科技通過采樣、現(xiàn)場勘測、技術診斷，確認氣態(tài)污染物主要成分及濃度，有針對性的提出了最優(yōu)的解決方案 - 氣態(tài)污染物AMC空氣過濾解決方案。在保證能耗降低的同時，達到了最佳過濾效率。

 

　　其中選用了除酸化學過濾器、除堿化學過濾器等平板型氣相過濾器。

 

　　并在發(fā)貨前對過濾器進行了性能檢測。

 

　　

 

　　FFU氣相過濾器現(xiàn)場安裝示意圖

 

　　平板型氣相過濾器是一種高效去除空氣中顆粒和氣態(tài)分子污染物的復合式過濾器，廣泛應用在AMC污染腐蝕控制工程中，主要搭配風機過濾機組（FFU）使用，也可作為送風口或回風口的化學過濾組件，復合式的結構設計使濾材充分發(fā)揮過濾功能，根據現(xiàn)場環(huán)境的AMC種類和濃度，定制化設計過濾材料和框架材料，讓空氣更潔凈。

 

　　

 

　　平板型氣相過濾器

 

　　產品優(yōu)勢：

 

　?、?使用方便，安裝維護簡單；

 

　?、?高效過率，針對不同污染物定制配方；

 

　　③ 低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保；

 

　　④ 無灰塵釋放，具有一定的粉塵過濾效果；

 

　?、?使用壽命長，通過化學吸附法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學反應，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物。

 

　　華凈科技化學過濾器檢測平臺專門針對化學過濾器過濾性能的檢測，通過模擬受控污染環(huán)境內過濾器過濾裝置，檢測過濾器在不同污染物濃度環(huán)境下過濾效率、壓阻、容污量、持久性等性能的變化，幫助企業(yè)設計開發(fā)出高效改善環(huán)境空氣質量的過濾產品。符合標準：ISO10121-2、T/CRAA438.2

 

　　

 

　　華凈科技氣相過濾器全尺寸檢測臺

 

　　

 

　　經檢測合格的氣相過濾器